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硅片分片及导片机

关键词:智能制造,自动化,机器人,分片机,硅片分片机

晶洲装备硅片分片及导片机

设备功能:
硅片在黑硅槽式机中进行单面制绒后,位于硅片花篮同一篮齿中的两片硅片会因为液体的张力作用两两吸合在一起,分片机就是把两两吸合的硅片进行自动分离,提高效率,减少碎片率。分离后的硅片再通过传送带出入花篮(100片花篮)
1. 侧端吸盘组先固定,顶端吸盘组通过robot再进行分离,吸盘采用微孔陶瓷真空吸盘
2. 电气控制采用servo motor,保证精度及可靠性
设备规格:2580×2100×2240mm(l×w×h)插片机;2532×2100×2240mm(l×w×h)导片机
设备特点:
1. 采用日本fanuc 六轴robot,运行快速平稳,准确可靠
2. 分片及导片实现全程自动化操作,无需人工处理
3. 碎片率5‰ ↓,产能9000pcs/h
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