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tft4.5代湿法刻蚀机

项目 说明 设备名称 tft 湿法刻蚀机(国内首台) 基板尺寸 适用于g6以下所有尺寸基板 适用工艺 ito 刻蚀/草酸刻蚀/盐酸刻蚀/王水刻蚀 控制方式 三菱q系列plc全自动控制+cim全厂通讯与控




项目

说明

设备名称

tft湿法刻蚀机(国内首台)

基板尺寸

适用于g6以下所有尺寸基板

适用工艺

ito刻蚀/草酸刻蚀/盐酸刻蚀/王水刻蚀

控制方式

三菱q系列plc全自动控制+cim全厂通讯与控制

传输方式

roller to roller

设备类型

u-turn type

工艺流程

load→euv→buf→etch1→etch2→etch3→rinse-1→rinse-2→rinse-3→rinse-4→hj→ak→unload

主要材质

cpvc

tact   time

视工艺而定

 

 

 

工艺效果

1)刻蚀速率均一性:

       基板内 : ≤ 10%,基板间 : ≤ 10%,批次间 : ≤ 10%;

       2)刻蚀cd均一性≤ 10.0%;

       3)刻蚀cd bias ≤ -1.5μm;

 

 

 

 

 

 

设备特点

 

1)具备fix type,scaning   type模式碎片感应;

       2)cim通讯;

       3)具备shutter防结晶系统;

       4)水平衡系统,节约用水;

       5)使用高精密喷嘴,流量分布均匀性全局控制在5%以内;

       6)智能喷嘴摇摆功能,角度与速度多级可调;

       7)具备槽体清洗功能,清洗液独立管路排放,减少厂务负担;

       8)加热器多重保护,泵浦多重保护功能;

       9)高浓度废液,低浓度废液分开排液,减少厂务压力;

       10)液刀、风刀智能开启与关闭功能,节约能耗。

 

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