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g4.5代等离子清洗机

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项目

说明

设备名称

g4.5代等离子清洗机

适用基板尺寸

适用于1500mm*1800mm*0.4mm以下所有尺寸基板

适用工艺

滚刷清洗

控制方式

三菱q系列plc全自动控制+cim全厂通讯与控制

传输方式

roller to roller

设备类型

double conveyer   type

工艺流程

load→euv→brush-1→brush-2→rinse→b/j→rinse→a/k→unload

主要材质

cpvc

tact time 视工艺而定

设备特点

1)具备fix typescaning type模式碎片感应; 
     2
)双层滚轮传输系统,左进左出或右进右出;
     3cim通讯;
     4)高精度滚刷,滚刷高度自动调整;
     5)水平衡系统,节约用水;
     6)使用高精密喷嘴,流量分布均匀性全局控制在5%以内;
     7)液刀、风刀智能开启与关闭功能,节约能耗。

 


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